Phân loại lỗi trên phiến bán dẫn
Phân loại lỗi đã biết và cảnh báo bất thường chưa từng gặp — ngay cả khi mẫu có nhãn khan hiếm.
Ảnh SEM đặt ra một bài toán phân loại khó: các lớp lỗi phân bố không đồng đều, mẫu gắn nhãn có thể khan hiếm, còn vết xước hay hạt dị vật lại có hình dạng rất đa dạng. Bộ phân loại thông thường còn có thể ép những bất thường lạ vào các lớp đã biết.
Chúng tôi triển khai các giai đoạn riêng cho định vị bất thường, phân tích vùng, phân loại theo từng loại lỗi và cảnh báo lỗi chưa biết. Đặc trưng hình học hỗ trợ phân tích vết xước, trong khi những đặc trưng hình ảnh khác được dùng cho hạt dị vật. Mỗi giai đoạn áp dụng phương pháp phù hợp với loại lỗi mục tiêu, thay vì phụ thuộc vào một bộ phân loại đa dụng duy nhất.
Kiến trúc này giải quyết hạn chế về dữ liệu huấn luyện và nhu cầu cảnh báo những bất thường nằm ngoài danh mục đã định nghĩa, mang lại cho đội ngũ kiểm tra cơ sở rõ ràng hơn để rà soát cả lỗi đã biết lẫn bất thường chưa từng gặp.
